一种用于碳化硅晶片的检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202220525374.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216978810U | 公开（公告）日 | 2022-07-15 |
| 申请公布号 | CN216978810U | 申请公布日 | 2022-07-15 |
| 分类号 | G01N21/01（2006.01）I;G01N21/95（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 李有群;贺贤汉;章磊;卢晨;顾雪龙 | 申请（专利权）人 | 安徽微芯长江半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 铜陵市天成专利事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 244000安徽省铜陵市经济开发区西湖三路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于碳化硅晶片检测技术领域，尤其为一种用于碳化硅晶片的检测装置，包括底座和连接架，所述底座的上端设置有安装架，所述安装架的上端设置有丝杆滑台，所述连接架设置在丝杆滑台的滑块之间，所述连接架的两端固定连接有固定杆，所述固定杆的内端贯穿有与其相匹配的转轴，固定杆通过转轴铰接有连接杆，所述连接杆的端头处固定连接有扫描检测仪。该用于碳化硅晶片的检测装置，结构合理，操作便捷，便于对检测仪检测角度进行调节，使其检测范围缩减，提高检测质量，而且通过传感器传导数据实时查看，增加了使用的灵活性。 |
