一种用于碳化硅晶片退火的装置
基本信息
| 申请号 | CN202123066641.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216902811U | 公开（公告）日 | 2022-07-05 |
| 申请公布号 | CN216902811U | 申请公布日 | 2022-07-05 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/324（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 贺贤汉;高攀;李有群;周杰;章磊;孙大方 | 申请（专利权）人 | 安徽微芯长江半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 铜陵市天成专利事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 244000安徽省铜陵市经济开发区西湖三路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，具体为一种用于碳化硅晶片退火的装置，包括：固定底座，固定底座的顶端固定连接有反应仓；循环结构，反应仓的一端固定连接有循环结构，且循环结构包括传动电机；增压结构，反应仓内部靠近循环结构的一端固定连接有增压结构，且增压结构包括连接底板；启闭结构，反应仓远离循环结构的一端固定连接有观察窗，反应仓一端的底端设有储料仓，且储料仓和反应仓的连接处固定连接有启闭结构。本实用新型通过增压结构便于均匀稳定的退火，退火的原理是通过加热材料后降温从而达到精炼材料的效果，降温的方式有多种，传统的风冷和密封隔绝空气使其自然冷却的方式存在安全隐患。 |
