一种碳化硅片生产用贴膜设备
基本信息
| 申请号 | CN202123066320.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216658907U | 公开（公告）日 | 2022-06-03 |
| 申请公布号 | CN216658907U | 申请公布日 | 2022-06-03 |
| 分类号 | B29C63/02（2006.01）I | 分类 | 塑料的加工；一般处于塑性状态物质的加工; |
| 发明人 | 李有群;陈辉;贺贤汉;周杰;章磊;孙大方 | 申请（专利权）人 | 安徽微芯长江半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 铜陵市天成专利事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 244000安徽省铜陵市经济开发区西湖三路 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及硅片生产技术领域，具体是一种碳化硅片生产用贴膜设备，包括工作台，所述工作台的顶部固定连接有侧板，所述侧板的顶部一侧固定连接有顶板，所述顶板的内底部固定连接有固定块，所述固定块的底部固定连接有气缸，所述气缸的伸缩杆贯穿顶板的底部固定连接有贴膜板，所述贴膜板靠近侧板的一侧固定连接有滑杆，所述侧板靠近贴膜版的一侧开设有滑槽，所述滑杆远离贴膜板的一端贯穿滑槽固定连接有单向齿条板，所述滑杆与滑槽呈滑动连接，所述单向齿条板远离滑杆的一侧等距离开设有转动槽，单向齿条板的内部通过转轴等距离转动连接有活动齿，本实用新型在进行贴膜工作时，能自动翻面，减少了工作量，保证翻转后位置和第一面的位置对应。 |
