一种便于装载的晶圆装载支架
基本信息
| 申请号 | CN202120177890.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214313172U | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN214313172U | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | H01L21/687（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 郑东来;缪小波;卞志佳 | 申请（专利权）人 | 江苏嘉兆电子有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226100江苏省南通市海门区临江镇洞庭湖路100号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种便于装载的晶圆装载支架，包括本体和固定底板，还包括能够对测距仪进行防护的防护结构、增加安装稳定性的安装结构和能够便于装载晶圆的夹持结构，所述固定底板顶端的一侧安装有本体，且固定底板顶端的另一侧安装有安装盒，所述安装盒顶端的中间位置处安装有驱动电机，且安装盒的内部安装有螺纹杆。本实用新型通过安装有支撑杆和超声波测距仪，当放置板在下降时会对活动板施加压力，使活动板底端的复位弹簧受力并缩短长度，而铰接杆角度发生改变并推动连接块向一侧移动，连接块在移动的过程中能够推动支撑杆左右移动，当支撑杆向两侧移动到极限时，放置板无法继续下降，从而实现对超声波测距仪的保护。 |
