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一种晶圆动态测试治具

基本信息

申请号 CN201922445385.3 申请日 -
公开（公告）号 CN211589854U 公开（公告）日 2020-09-29
申请公布号 CN211589854U 申请公布日 2020-09-29
分类号 B25B11/00(2006.01)I 分类 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
发明人 郑东来;缪小波 申请（专利权）人 江苏嘉兆电子有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 226100江苏省南通市海门市临江镇洞庭湖路100号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆动态测试治具，包括测试台、吸盘座、移动槽、导块、定位柱、气缸、推板、斜板、复位弹簧、活塞头、推杆、活塞筒和连块，所述测试台顶面等距安装有吸盘座，且吸盘座底口连接固定有活塞筒，所述测试台内部位于吸盘座对应位置安装有气缸，且气缸输出端固定有推杆，所述活塞筒内配合设有活塞头，且推杆与活塞头固定连接，所述测试台表面位于吸盘座侧边对称开设有四个移动槽，且移动槽内滑动卡接有导块，此晶圆动态测试治具通过气缸的驱动，配合斜面推动使定位柱推动晶圆聚中，实现精准放置，配合活塞头的收缩使吸盘座对晶圆稳定吸附固定，装置结构简单，晶圆定位精确稳定，提高晶圆检测的稳定性。