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一种带有监测机构的晶圆装载支架

基本信息

申请号 CN201922457929.8 申请日 -
公开（公告）号 CN211017036U 公开（公告）日 2020-07-14
申请公布号 CN211017036U 申请公布日 2020-07-14
分类号 H01L21/673(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I 分类 -
发明人 缪小波;郑东来 申请（专利权）人 江苏嘉兆电子有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 226100江苏省南通市海门市临江镇洞庭湖路100号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种带有监测机构的晶圆装载支架，包括装载筒、承载板、大通槽、同步器、挡边块、丝杠、电机、超声波测距仪和支板，所述装载筒内部设有承载板，所述装载筒侧边开设有大通槽，所述装载筒外部顶端位于大通槽对应位置转动安装有丝杠，所述装载筒外壁位于丝杠顶端固定有支板，且支板端部安装有电机，且电机通过同步器与丝杠传动连接，所述承载板穿过大通槽与丝杠啮合连接，所述装载筒内壁对称固定有挡边块，且挡边块顶端呈斜面状，此晶圆装载支架可对晶圆稳定叠加装载，通过丝杠的驱动承载板升降，配合超声波测距仪的距离检测可稳定上移供料，便于后期加工的供料。