一种晶圆加工用湿法清洗设备
基本信息
| 申请号 | CN201922459023.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211587742U | 公开（公告）日 | 2020-09-29 |
| 申请公布号 | CN211587742U | 申请公布日 | 2020-09-29 |
| 分类号 | B08B3/10(2006.01)I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 郑东来;缪小波 | 申请（专利权）人 | 江苏嘉兆电子有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 226100江苏省南通市海门市临江镇洞庭湖路100号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆加工用湿法清洗设备，包括支架、清洗槽、放置框、连接杆、滑板、螺纹杆、固定板、升降电机、滑杆和晶圆架，支架顶部固定有清洗槽，清洗槽内壁设有放置框，放置框两侧对称固定有连接杆，放置框两端的两个连接杆一端固定有滑板，滑板中部开设有螺纹孔，螺纹孔内壁螺纹连接有螺纹杆，且螺纹杆底部通过轴承与清洗槽底部转动连接，清洗槽内壁顶部对称固定有固定板，螺纹杆顶部通过轴承与固定板转动连接，固定板中部固定有升降电机，且升降电机的输出端与螺纹杆固定连接，滑板两端通过导套对称滑动连接有滑杆，此晶圆加工用湿法清洗设备便于人们取放晶圆架、且清洗效率较高，便于人们使用。 |
