一种具有泄压功能的石英真空吸附装置
基本信息
| 申请号 | CN202110088218.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112922952A | 公开（公告）日 | 2021-06-08 |
| 申请公布号 | CN112922952A | 申请公布日 | 2021-06-08 |
| 分类号 | F16B47/00;F17D1/04;F17D1/065;F17D3/01;F17D5/00 | 分类 | 工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热; |
| 发明人 | 胡龙辉 | 申请（专利权）人 | 宁波云德半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 杭州五洲普华专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 侯申飞 |
| 地址 | 315336 浙江省宁波市杭州湾新区华轩路161号数字经济产业园28栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种具有泄压功能的石英真空吸附装置，包括真空吸盘、进气管、吹气管、三通接头、四通接头和若干连接管，真空吸盘上设有气孔，所述真空吸盘上设有环形凹槽，所述气孔位于环形凹槽内，所述真空吸盘外壁对应气孔位置处设有与气孔相连通的接头，所述进气管上设有真空发生器和吸气控制开关，所述进气管和吹气管均与气泵相连，吹气管上设有吹气泄压控制开关，所述四通接头的四个连接端口均可拆卸连接有连接管，且其中三根连接管分别与相应的接头可拆卸连接，所述三通接头分别与进气管、吹气管和其中一根所述的连接管可拆卸相连。本发明具有通过吹气有效泄压便于石英产品的拿取，拆装维护更换方便，真空吸附和吹气泄压控制便捷等优点。 |
