一种可调节式石英研磨装置
基本信息
| 申请号 | CN202110093710.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112894608A | 公开（公告）日 | 2021-06-04 |
| 申请公布号 | CN112894608A | 申请公布日 | 2021-06-04 |
| 分类号 | B24B37/00;B24B37/34;B24B37/27;B24B57/02 | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 蔡新域 | 申请（专利权）人 | 宁波云德半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 杭州五洲普华专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 侯申飞 |
| 地址 | 315336 浙江省宁波市杭州湾新区华轩路161号数字经济产业园28栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种可调节式石英研磨装置，包括机身、机械臂、安装在机身上的驱动装置，驱动装置与研磨盘相连，机械臂滑动安装在机身的支撑架上，支撑架上设有喷淋管，机械臂包括滑座、立杆、压力杆，滑座在支撑架上滑动一定距离后用锁紧装置固定，立杆上设有压力调节旋钮，立杆内部设有压力调节机构和螺纹连接部，压力调节机构包括丝杆、齿轮，所述压力调节旋钮与齿轮相连，丝杆与螺纹连接部螺纹连接，丝杆底部设有压力传感器，所述压力杆上端插入立杆内且可在立杆内部上下滑动，压力杆上端和压力传感器之间设有弹簧，压力杆下端安装有夹爪。本发明具有研磨位置研磨量易调节，可自动添加研磨液，减少加工时间，提高产品的研磨效率和质量等优点。 |
