一种IBC太阳能电池扩散和清洗方法
基本信息
| 申请号 | CN202110579706.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113363350A | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN113363350A | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | H01L31/18（2006.01）I;H01L21/02（2006.01）I;H01L31/068（2012.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李懋鸿;陈刚 | 申请（专利权）人 | 广东爱旭科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 李素兰;何键云 |
| 地址 | 322009浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种IBC太阳能电池的扩散和清洗方法，包括：S1、将制绒后的硅片置入扩散设备，在硅片的背表面形成n+扩散层和PSG掩膜层；S2、对硅片的背表面进行激光消融；S3、采用碱性清洗液来清洗激光消融后的硅片，形成沿着硅片背表面凹陷的p区；S4、采用酸性清洗液来清洗硅片，去除PSG掩膜层。本发明的n+扩散层和PSG掩膜层采用同一台设备形成，有效降低设备成本，同时减少更换设备的生产时间，在降低生产成本的同时提高了生产效率。 |
