测量辅助装置
基本信息
| 申请号 | CN201822120434.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209764018U | 公开（公告）日 | 2019-12-10 |
| 申请公布号 | CN209764018U | 申请公布日 | 2019-12-10 |
| 分类号 | G01B11/06（2006.01） | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 曾燕 | 申请（专利权）人 | 成都珠峰永明科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 成都珠峰永明科技有限公司 |
| 地址 | 610200 四川省成都市双流区西南航空港经济开发区空港四路2002号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种测量辅助装置，所述测量辅助装置与用于测量大尺寸样品的椭偏仪配合使用，所述测量辅助装置包括基板和定位层，所述基板包括：基底层，所述基底层具有第一表面和第二表面；以及吸光层，所述吸光层具有第三表面和第四表面，其中，所述第四表面设置在所述第一表面上并与所述第一表面相对，所述定位层以可拆卸方式固定于所述吸光层上，其中，所述定位层的远离所述吸光层的一侧的表面被划分成多个单元格以定位待测量的多个小尺寸样品。 |
