金属TCO叠层薄膜及其制备方法和HIT太阳能电池专利查询专利号|摘要-满商公司网

金属TCO叠层薄膜及其制备方法和HIT太阳能电池

基本信息

申请号	CN201910576098.8	申请日	-
公开（公告）号	CN112234106A	公开（公告）日	2021-01-15
申请公布号	CN112234106A	申请公布日	2021-01-15
分类号	H01L31/0216(2014.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	陈孟杰	申请（专利权）人	成都珠峰永明科技有限公司
代理机构	北京华夏泰和知识产权代理有限公司	代理人	成都珠峰永明科技有限公司
地址	610200四川省成都市自由贸易试验区成都市双流区西南航空港经济开发区空港四路2002号
法律状态	-

摘要

本公开提供一种金属TCO叠层薄膜，用于HIT太阳能电池，包括：TCO基底层，以及依次设置在TCO基底层上的非晶TCO浸润层、金属膜层和TCO面层；其中非晶TCO浸润层的厚度小于等于10nm，金属膜层的厚度大于等于1nm且小于等于30nm，金属TCO叠层薄膜的总厚度小于等于150nm，通过提供包括非晶TCO浸润层、使金属膜层的在较薄厚度情况下连续生长，降低了金属膜层的粗糙度，使TCO面层、金属膜层和非晶TCO浸润层之间由于高折射率对比导致表面等离子体激元高效耦合，形成表面等离子体产生共振效应，降低了TCO面层、非晶TCO浸润层和TCO基底层对光的散射和对光子的吸收，进而提高了金属TCO叠层薄膜的光谱透过率，提高了HIT电池的电学性能。