硅异质结太阳能电池的制备方法及其太阳能电池
基本信息
| 申请号 | CN201910459529.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112018217A | 公开（公告）日 | 2020-12-01 |
| 申请公布号 | CN112018217A | 申请公布日 | 2020-12-01 |
| 分类号 | H01L31/20(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 杨苗 | 申请（专利权）人 | 成都珠峰永明科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张丽颖 |
| 地址 | 101102 北京市通州区中关村科技园区通州园金桥科技产业基地环科中路17号26幢1至3层102-LQ307 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明实施例提供一种硅异质结太阳能电池的制备方法，包括：提供硅片到反应器腔室中；提供包含氧的第一气体到所述反应器腔室中，用于将含氧的所述第一气体分子附着到反应器腔室内壁上；对所述反应器腔室进行抽真空至气压小于0.1Pa；提供包含硅和氢的第二气体到所述反应器腔室中；以及依次将含有氢氧的硅化合物沉积到所述硅片的表面后将含有氢硅的化合物沉积到所述硅片的表面，形成氧含量梯度减少的钝化膜层，从而在硅异质节太阳能电池片上形成氧含量在靠近硅片表面的一侧向远离硅片表面的一侧逐渐减少的钝化膜层，使钝化膜层中的氧含量呈梯度分布，使电池性能得到了优化，提升了电池的光电转换效率和电池的稳定性。 |
