双色红外探测器及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202110672789.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113410329A | 公开（公告）日 | 2021-09-17 |
| 申请公布号 | CN113410329A | 申请公布日 | 2021-09-17 |
| 分类号 | H01L31/101（2006.01）I;H01L31/109（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 黄勇 | 申请（专利权）人 | 苏州晶歌半导体有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 | 代理人 | 孙伟峰;武岑飞 |
| 地址 | 215000江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城20号楼3层300-44工位（集群登记） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 提供了一种双色红外探测器，其包括衬底、中波通道接触层、中波通道吸收层、中波通道势垒层、中波连接层、长波通道吸收层、长波通道势垒层、长波通道接触层、第一电极以及第二电极；中波通道接触层、中波通道吸收层、中波通道势垒层、中波连接层、长波通道吸收层、长波通道势垒层以及长波通道接触层依序层叠设置于衬底上，第一电极与中波通道接触层接触，第二电极设置于长波通道接触层上。还提供了一种双色红外探测器的制作方法。在本发明的双色红外探测器及其制作方法中，采用了非对称的结构，即使长波通道吸收层和中波连接层居中，中波通道吸收层和长波通道势垒层居于两侧，每个波段均采用最佳的异质结结构，保证了长波和中波波段的性能最佳。 |
