串行EEPROM芯片的检测装置中的调节定位机构专利查询专利号|摘要-满商公司网

串行EEPROM芯片的检测装置中的调节定位机构

基本信息

申请号	CN201821620140.9	申请日	-
公开（公告）号	CN209167478U	公开（公告）日	2019-07-26
申请公布号	CN209167478U	申请公布日	2019-07-26
分类号	G01R31/28（2006.01）I; G01R1/04（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	徐四九	申请（专利权）人	嘉兴威伏半导体有限公司
代理机构	嘉兴永航专利代理事务所（普通合伙）	代理人	嘉兴威伏半导体有限公司
地址	314200 浙江省嘉兴市平湖市经济开发区新兴二路988号3号楼1层
法律状态	-

摘要

本实用新型提供了一种串行EEPROM芯片的检测装置中的调节定位机构，属于晶圆检测技术领域。本串行EEPROM芯片的检测装置中的调节定位机构，所述的检测装置包括具有工作台的机体，工作台上设置有承载台，其特征在于，本调节定位机构设置在工作台与承载台之间，包括固定在工作台上的横向导轨，横向导轨上滑动设置有横向滑块，横向滑块与一驱动电机一相连；所述的横向滑块上设置有纵向导轨，纵向导轨上滑动设置有纵向滑块，纵向滑块与一驱动电机二相连；所述的纵向滑块上通过周向转动轴向固定的方式设置有转轴，转轴与一驱动电机三相连，转轴的上端设置有承载台。本实用新型能够实现晶圆在工作台上的位置调节，从而使探针卡对应晶圆进行精确检测。