汽车电致变色玻璃镀膜装置

基本信息

申请号 CN201821145579.0 申请日 -
公开(公告)号 CN208733225U 公开(公告)日 2019-04-12
申请公布号 CN208733225U 申请公布日 2019-04-12
分类号 C23C14/56;C23C14/34;C03C17/34 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 郭祖华;周凌;刘毅 申请(专利权)人 合肥威驰科技有限公司
代理机构 合肥天明专利事务所(普通合伙) 代理人 合肥威驰科技有限公司
地址 230088 安徽省合肥市创新大道2800号创新产业园二期E1栋1212室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种汽车电致变色玻璃镀膜装置,曲面玻璃布置于真空室的长度方向上,所述的真空室连续布置多个,相邻两真空室的其中一宽度侧边进行交接且交接处设置有抽拉板,所述的真空室内设置有与曲面玻璃的外弧面相互吻合且临近的加热器,所述的真空室的一侧边设置有与曲面玻璃的内弧面相互吻合且临近布置的溅射阴极,曲面玻璃的底部设置有传送装置,传送装置沿真空室的长度方向进行滑移。开始在第一个真空室进行镀膜,将真空室进行抽真空再冲入工艺气体,开启加热器至一定工艺温度,接通溅射阴极开始放电,使溅射阴极的靶材原子溅射至曲面玻璃的内弧面完成镀膜,打开抽拉板,传送装置直接将曲面玻璃导送至下一个真空室进行下一层的镀膜。