一种微阵列结构图案化的装置

基本信息

申请号 CN202010682179.9 申请日 -
公开(公告)号 CN113213420A 公开(公告)日 2021-08-06
申请公布号 CN113213420A 申请公布日 2021-08-06
分类号 B81C1/00(2006.01)I;B81C99/00(2010.01)I 分类 微观结构技术〔7〕;
发明人 高宏军;陈芳芳;陈玉平;高明;王布强 申请(专利权)人 江苏力博医药生物技术股份有限公司
代理机构 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 代理人 廖慧敏
地址 214400江苏省无锡市江阴市东盛西路78号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种微阵列结构图案化的装置,解决了现有技术中公开的制作微米级别的阵列图案的设备和仪器的成本高的缺陷,本发明包括冷凝箱和连接管路;所述冷凝箱包括第二腔体,设置在第二腔体上的第二温控部件和第二监测组件,设置在第二腔体内的基底,穿过第二腔体延伸到基底上方的树脂注入通道,用于将基底上冷凝的液态微珠冷却成固态的制冷结构;所述连接管路用于向第二腔体中导入气态介质。本发明的装置具有结构简单、成本低廉等优点。