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一种微阵列结构图案化的工艺

基本信息

申请号 CN202010682176.5 申请日 -
公开（公告）号 CN113213419A 公开（公告）日 2021-08-06
申请公布号 CN113213419A 申请公布日 2021-08-06
分类号 B81C1/00（2006.01）I 分类 微观结构技术〔7〕;
发明人 高宏军;陈芳芳;陈玉平;高明;王布强 申请（专利权）人 江苏力博医药生物技术股份有限公司
代理机构 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 代理人 廖慧敏
地址 214400江苏省无锡市江阴市东盛西路78号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种微阵列结构图案化的工艺，本发明包括步骤一、获得气态介质；步骤二、将气态介质通入到放置有基底的冷凝环境中，控制冷凝环境温度、压力，并控制基底的温度，使气态介质在基底表面凝结形成微珠；步骤三、对冷凝环境的压力、温度和湿度进行调节进而控制微珠大小，形成所需大小的微珠；步骤四、使冷凝的微珠冷却凝固制成固态微珠，在基底上获得固态微珠的微阵列；步骤五、将树脂注入具有微阵列的基底表面，使树脂与固态微珠表面贴合，当树脂覆盖基底表面的微阵列且流平后，使树脂固化，形成稳定结构；步骤六、去除稳定结构上的介质后即获得图案化的微阵列结构。本发明具有工艺简单、成本低廉等优点。