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一种可变电极晶体生长炉

基本信息

申请号	CN201511016111.2	申请日	-
公开（公告）号	CN105483821B	公开（公告）日	2018-05-08
申请公布号	CN105483821B	申请公布日	2018-05-08
分类号	C30B17/00;C30B29/20	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	那木吉拉图;夏航;杨明远	申请（专利权）人	兰州四联光电科技有限公司
代理机构	上海光华专利事务所（普通合伙）	代理人	兰州四联光电科技有限公司
地址	730000 甘肃省兰州市兰州新区经十三路以西、支路以东、纬八路以南、纬六路以北
法律状态	-

摘要

本发明提供一种可变电极晶体生长炉，包括：炉筒，顶部具有炉筒口；大盖，固定在所述炉筒口上，所述大盖具有大盖口；小盖，紧固在所述大盖口上；炉体电极，位于所述炉筒中且固定在所述大盖上，所述炉筒、大盖、小盖以及炉体电极中均设置有循环水通道。所述炉体电极包括一炉体整圆环电极和两个炉体半圆环电极，所述可变电极晶体生长炉还包括加热棒电极和加热棒。加热棒半圆环电极上均布分布所述加热棒，加热棒穿过但不接触本侧加热棒半圆环电极下绝缘材料、加热棒整圆环电极，弯折回对侧加热棒半圆环电极下方的加热棒整圆环电极上。本发明通过炉体、大盖、小盖以及炉体电极之间的安装连接，使整个晶体生长炉实现密封状态，为生长炉中温场的稳定提供保障。