液晶显示装置阵列基板的制造方法
基本信息
| 申请号 | CN200710047726.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN101424837B | 公开（公告）日 | 2010-08-25 |
| 申请公布号 | CN101424837B | 申请公布日 | 2010-08-25 |
| 分类号 | G02F1/1362(2006.01)I;G02F1/133(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I;G03F1/00(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I | 分类 | 光学; |
| 发明人 | 李小和 | 申请（专利权）人 | 上海广电光电显示器有限公司 |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 薛琦 |
| 地址 | 201108 上海市华宁路3388号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种液晶显示装置的制造方法，其包括以下步骤：在洁净的玻璃表面上溅射并形成第一金属层图形；在形成第一金属层图形的基础上淀积绝缘膜和有源层；溅射并形成第二金属层图形；通过利用掩膜板进行曝光、显影后形成第一金属层图形的接触孔；刻蚀接触孔直到接触孔处的第一金属层图形暴露出来；溅射并形成氧化物导电层图形；在氧化物导电层图形上淀积绝缘膜；最后剥离绝缘膜使氧化物导电层暴露出来。采用本发明液晶显示装置的制造方法可提高接触孔的导通能力，减小原有的接触孔数目，提高像素信号的输入能力。 |
