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一种可控加热除霜电容式高空湿度传感器及其制备方法

基本信息

申请号 CN201210551816.4 申请日 -
公开（公告）号 CN103018288A 公开（公告）日 2013-04-03
申请公布号 CN103018288A 申请公布日 2013-04-03
分类号 G01N27/22(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 施云波;罗毅;赵文杰;冯侨华 申请（专利权）人 通普信息技术股份有限公司
代理机构 哈尔滨市松花江专利商标事务所 代理人 哈尔滨理工大学;云南师范大学
地址 150080 黑龙江省哈尔滨市南岗区学府路52号
法律状态 -

摘要

摘要 一种可控加热除霜电容式高空湿度传感器及其制备方法，涉及高空湿度传感器及其制备方法的领域。本发明是要解决现有的湿度传感器由于高空环境下温度过低，使得传感器表面出现结霜现象，严重影响湿度数据采集的问题。一种可控加热除霜电容式高空湿度传感器，其特征在于：它是由基底、第一绝缘层、第一温度传感器焊盘、第二温度传感器焊盘、第一加热器焊盘、第二加热器焊盘、温度传感器电极、加热器电极、第二绝缘层、下电极、感湿层、多孔上电极和凹槽组成。制备方法：采用光刻剥离、磁控射频溅射、腐蚀镂空、匀胶处理和蒸发镀膜的方法制备可控加热除霜电容式高空湿度传感器。本发明适用于气候和气象领域。