一种泡生法蓝宝石长晶设备的自动氩气充填工艺专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种泡生法蓝宝石长晶设备的自动氩气充填工艺

基本信息

申请号	CN201410722225.8	申请日	-
公开（公告）号	CN104480528B	公开（公告）日	2017-02-01
申请公布号	CN104480528B	申请公布日	2017-02-01
分类号	C30B29/20(2006.01)I;C30B17/00(2006.01)I	分类	晶体生长〔3〕;
发明人	刘瑜;陈晓玲	申请（专利权）人	宁波晶工晶体科技有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	315300 浙江省宁波市慈溪市坎墩街道大昌南路398号
法律状态	-

摘要

公开了一种泡生法蓝宝石长晶设备的自动氩气充填工艺，该氩气充填工艺程序包括：关闭高真空阀后关闭扩散泵，若真空度1小时后高于10^‑2Pa，开启高真空阀，保持24小时后，关闭高真空阀，开始填充氩气至真空度为10Pa，保持6小时后继续填充氩气至真空度为1000Pa，保持6小时后即可打开长晶设备；若真空度1小时后低于10^‑2Pa时，开始填充氩气至真空度为9x10^‑1Pa后停止；保持12小时后，继续填充氩气至真空度为100Pa后停止；保持12小时后，继续填充氩气至真空度为1000Pa；保持六小时后填充氩气至大气压后打开长晶设备。利用本发明能减少晶体在后退火过程中的开裂，将后退火时间缩短12小时，提高了生产效率。