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一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水压力闭环控制系统

基本信息

申请号 CN201410672609.3 申请日 -
公开（公告）号 CN104328486B 公开（公告）日 2016-10-19
申请公布号 CN104328486B 申请公布日 2016-10-19
分类号 C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 刘瑜;陈晓玲 申请（专利权）人 宁波晶工晶体科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 315300 浙江省宁波市慈溪市坎墩街道大昌南路398号
法律状态 -

摘要

摘要 公开了一种泡生法蓝宝石长晶设备的冷却水压力闭环控制系统，该装置包括压力传感器、电子流量阀、PLC控制器，其中，压力传感器，电子流量阀与PLC控制器通过信号线连接和通信，压力传感器安装在冷却出水口位置，电子流量阀安装在冷却进水口。出水压力变化通过压力传感器传输给PLC控制器，PLC控制器调节电子流量阀就能使水压自动保持在所需压力的±0.01兆帕度，从而形成冷却水压力的闭环控制。利用本专利能在使泡生法蓝宝石长晶设备冷却水系统进出水压力变化控制在0.01兆帕以内，减少了水压波动对晶体生长过程的影响，提高了晶体生长的质量。