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一种多晶硅生产用还原炉

基本信息

申请号 CN201721748411.4 申请日 -
公开（公告）号 CN207671694U 公开（公告）日 2018-07-31
申请公布号 CN207671694U 申请公布日 2018-07-31
分类号 C01B33/035 分类 无机化学;
发明人 冯谨;孟昱良;姚亮 申请（专利权）人 河北东明中硅科技有限公司
代理机构 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 代理人 河北东明中硅科技有限公司
地址 052360 河北省石家庄市辛集市工业路南段东侧制革区内
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种多晶硅生产用还原炉，包括底座，电极，硅芯，炉体和气体循环装置；底座内部设有导流腔，导流腔的顶壁上开设有若干炉体出气孔；炉体包括外炉体，内炉体和夹套层，炉体出气孔与内炉体相连通，外炉体上设有冷媒进管和冷媒出管；气体循环装置包括出气管，罩体和进气管；出气管延伸至内炉体上部，出气管与罩体之间形成出气风道，导流腔的顶壁上开设有导流腔出气孔，进气管的上端设有球形储气腔，储气腔上均匀设有进气孔，进气管的下端贯穿出气管的侧壁。本装置内气体流动无死角，避免了倒炉现象，同时能将出气管中气体的热量在还原炉内部进行吸收，减小耗电量，极大的节约了成本。