一种多晶硅生产尾气中氯硅烷的回收系统
基本信息
| 申请号 | CN201721747593.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207792717U | 公开（公告）日 | 2018-08-31 |
| 申请公布号 | CN207792717U | 申请公布日 | 2018-08-31 |
| 分类号 | C01B33/107 | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 杨刊;冯巩;孟昱良 | 申请（专利权）人 | 河北东明中硅科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 | 代理人 | 河北东明中硅科技有限公司 |
| 地址 | 052360 河北省石家庄市辛集市工业路南段东侧制革区内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种多晶硅生产尾气中氯硅烷的回收系统，包括废气缓冲罐、变压吸附系统、热源、冷凝器和废气淋洗塔；其中变压吸附系统包括气体压缩机、活性炭吸附器以及第一过滤器、第二过滤器和第三过滤器；所述活性炭吸附器包括三个并列设置的活性炭吸附器A、活性炭吸附器B和活性炭吸附器C。本实用新型通过三个活性炭吸附器的交替循环，能实现对多晶硅生产尾气的24小时不间断回收处理，大大提高尾气处理效率及整个工厂的多晶硅生产的速率。 |
