首页/ 河北东明中硅科技有限公司/ 专利详情

一种多晶硅生产还原炉用电极组件

基本信息

申请号 CN201721748399.7 申请日 -
公开（公告）号 CN207793474U 公开（公告）日 2018-08-31
申请公布号 CN207793474U 申请公布日 2018-08-31
分类号 C30B29/06;C01B33/021 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 杨刊;郝福涛;孟昱良 申请（专利权）人 河北东明中硅科技有限公司
代理机构 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 代理人 河北东明中硅科技有限公司
地址 052360 河北省石家庄市辛集市工业路南段东侧制革区内
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种多晶硅生产还原炉用电极组件，包括设置于还原炉底盘上的绝缘支撑组件，卡接于所述绝缘支撑组件上的电极，设置于所述电极顶部的石墨底座，固定设置于所述石墨底座上的石墨卡瓣和控制所述石墨卡瓣开合的石墨卡套；所述绝缘支撑组件包括卡接于所述还原炉底盘上的阶梯状绝缘支撑件，设置于所述阶梯状绝缘支撑件内并套设于所述电极外的石英套筒，套设于所述石英套筒外并与所述还原炉底盘抵接、密封的上石英座，套设于所述阶梯状绝缘支撑件下部的下石英座，设置于所述下石英座底部的垫片和卡设于所述电极外的环形卡件。本实用新型电极组件能提高电极与还原炉底盘之间的绝缘性，减少倒炉现象。