一种四氯化硅热氢化方法
基本信息
| 申请号 | CN201110213550.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102408113B | 公开（公告）日 | 2013-04-24 |
| 申请公布号 | CN102408113B | 申请公布日 | 2013-04-24 |
| 分类号 | C01B33/107(2006.01)I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 段沙沙;陈骏;孟昱良 | 申请（专利权）人 | 河北东明中硅科技有限公司 |
| 代理机构 | 石家庄国为知识产权事务所 | 代理人 | 河北东明中硅科技有限公司 |
| 地址 | 052360 河北省石家庄市辛集市工业路南段东侧制革区内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种四氯化硅热氢化方法，将四氯化硅和氢气的混合气体输送至还原炉内，在硅芯表面发生反应，制得的固体硅沉积在硅芯表面，反应后的混合气体通过鼓泡淋洗、加压冷凝、吸收脱吸、活性炭吸附，最终得到液态的三氯氢硅。本发明既生成了多晶硅又生成了生产多晶硅的原料三氯氢硅，从而实现了四氯化硅的回收再利用，三氯氢硅的实收率达到23%以上。本发明不用额外的热氢化设备，在多晶硅生产设备的基础上增加汽化器，并入生产多晶硅装置内实现闭路循环，降低了成本。 |
