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一种多晶硅还原炉炉筒清洗方法

基本信息

申请号 CN201110213570.5 申请日 -
公开（公告）号 CN102357493B 公开（公告）日 2013-04-24
申请公布号 CN102357493B 申请公布日 2013-04-24
分类号 B08B9/08(2006.01)I 分类 清洁;
发明人 冯谨;陈骏;杨刊 申请（专利权）人 河北东明中硅科技有限公司
代理机构 石家庄国为知识产权事务所 代理人 河北东明中硅科技有限公司
地址 052360 河北省石家庄市辛集市工业路南段东侧制革区内
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种多晶硅还原炉炉筒清洗方法，包括下述步骤：（1）拆开多晶硅还原炉的视镜；（2）用去离子水对还原炉炉筒内壁进行冲洗；（3）用涤纶无纺布蘸取质量分数为5%-10%的氟化氢铵溶液对炉筒内壁进行擦拭，让其溶液在内壁停滞10-15min；（4）用去离子水对还原炉炉筒内壁进行冲洗；（5）再次用涤纶无纺布蘸取质量分数为2%-4%的氟化氢铵溶液对炉筒内壁进行擦拭，让其溶液在炉筒内壁停滞10-15min；（6）用去离子水炉筒内壁进行冲洗，并用氮气吹干；（7）用无水乙醇擦拭炉筒内壁，待到乙醇挥发完全后，用干燥的涤纶无纺布再擦拭一遍。本发明的方法具有简单可行、清洗效率高等优点。