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一种制备多晶硅的还原系统

基本信息

申请号 CN201721747589.7 申请日 -
公开（公告）号 CN207671692U 公开（公告）日 2018-07-31
申请公布号 CN207671692U 申请公布日 2018-07-31
分类号 C01B33/03 分类 无机化学;
发明人 冯谨;杨刊;郝福涛 申请（专利权）人 河北东明中硅科技有限公司
代理机构 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 代理人 河北东明中硅科技有限公司
地址 050000 河北省石家庄市辛集市工业路南段东侧制革区内
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种制备多晶硅的还原系统，包括底座，原料供应系统，原料混配装置和还原炉；原料供应系统包括氢气储罐和三氯氢硅储罐，原料混配装置包括换热箱，气压平衡箱，气体混合器和气体配比装置；换热箱包括换热箱体和换热箱盖；气压平衡箱包括平衡箱体，平衡箱盖，隔板和若干连接柱；气体混合器包括混合器壳体和混合叶片；气体配比装置包括调节杆、控制齿轮、氢气流量控制板、三氯氢硅流量控制板和直齿条；还原炉的炉壁上设有冷媒进管，冷媒出管和温度计。本实用新型实现对混合气体的快速、精确的摩尔配比控制及调节，同时充分利用无定型硅的特性，在还原炉内壁附着一层无定型硅，起到保温的作用，大大降低了整个生产过程中的能耗。