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一种晶圆贴合防摔治具

基本信息

申请号 CN202121282516.1 申请日 -
公开（公告）号 CN213816091U 公开（公告）日 2021-07-27
申请公布号 CN213816091U 申请公布日 2021-07-27
分类号 H01L21/67（2006.01） 分类 基本电气元件;
发明人 李坤;郭靖;张毓盛;谭春春;张韶轩 申请（专利权）人 东莞安晟半导体技术有限公司
代理机构 深圳国海智峰知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 王庆海;刘军锋
地址 510700 广东省广州市黄埔区科学大道18号A栋410房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及晶圆贴合技术领域，具体涉及一种晶圆贴合防摔治具，包括晶圆固定件和旋转固定架，所述晶圆固定件固定在所述旋转固定架上，所述晶圆固定件包括固定件本体、防摔落挡杆及箍环，所述固定件本体的中部开设有容置槽，所述容置槽的槽壁处设有卡缘，所述箍环卡接在所述卡缘上，所述防摔落挡杆转动连接在所述固定件本体上并在所述容置槽的槽口位置上活动。以此箍环将蓝膜固定住，晶圆贴合在蓝膜上，移动防摔落挡杆使其阻挡晶圆在蓝膜上脱落，再通过旋转固定架调节驱赶晶圆与蓝膜之间气泡的位置方向，确保驱赶气泡时晶圆的位置高度及角度不发生改变，可以有效防止晶圆摔落，确保晶圆贴合蓝膜过程顺利进行。