限位装置及晶圆检测设备
基本信息
| 申请号 | CN202121199878.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214538018U | 公开（公告）日 | 2021-10-29 |
| 申请公布号 | CN214538018U | 申请公布日 | 2021-10-29 |
| 分类号 | G01D21/00（2006.01）I;G01D11/16（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 钟荣斌;郭向荣;袁波;郭靖;徐大超;张毓盛;张韶轩 | 申请（专利权）人 | 东莞安晟半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 王雪莎 |
| 地址 | 523330广东省东莞市石排镇庙边王石岗路22号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种限位装置及晶圆检测设备，涉及晶圆检测技术领域，该限位装置包括径向限位组件，径向限位组件包括径向限位座和径向限位轮；径向限位轮枢接于径向限位座，径向限位轮的外圆周面用于抵接于待限位圆盘的外圆周面。通过该限位装置，缓解了现有技术中移动旋转装置的中空圆盘转动不稳定的技术问题，保证了晶圆可以稳定放置于中空圆盘。 |
