移动旋转装置及晶圆检测设备
基本信息
| 申请号 | CN202121199808.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214749862U | 公开（公告）日 | 2021-11-16 |
| 申请公布号 | CN214749862U | 申请公布日 | 2021-11-16 |
| 分类号 | G01N21/95（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 谢越森;钟荣斌;袁波;张毓盛;徐大超;郭靖;张韶轩 | 申请（专利权）人 | 东莞安晟半导体技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京超凡宏宇专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 王雪莎 |
| 地址 | 523330广东省东莞市石排镇庙边王石岗路22号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种移动旋转装置及晶圆检测设备，涉及晶圆检测技术领域，该移动旋转装置包括旋转机构，旋转机构包括支撑座、载盘和转动驱动器；载盘转动连接于支撑座，载盘设有通孔，通孔用于放置待检测晶圆；转动驱动器安装于支撑座并与载盘传动连接，用于驱动载盘绕其中心法线转动。通过该移动旋转装置，缓解了现有技术中检测设备的旋转装置不能同时显露晶圆正反面的技术问题，提高了晶圆的外观检测效率。 |
