一种压电微机械换能器
基本信息
| 申请号 | CN202110423696.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113042350A | 公开（公告）日 | 2021-06-29 |
| 申请公布号 | CN113042350A | 申请公布日 | 2021-06-29 |
| 分类号 | B06B1/06;B06B1/10 | 分类 | 一般机械振动的发生或传递; |
| 发明人 | 秦风;李慧 | 申请（专利权）人 | 广州蜂鸟传感科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都聚蓉众享知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘艳均 |
| 地址 | 510700 广东省广州市黄埔区科丰路31号G2栋309/311房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种压电微机械换能器，属于换能器技术领域，解决了换能器由于采用多换能器组成阵列，导致器件体积较大、成本高的问题，本发明包括基底，基底包括底硅层和设置于底硅层上的埋氧层，埋氧层上方由下至上依次连接有顶硅层、底层金属层、压电材料层和顶层金属层，底硅层和埋氧层处的基底中心位置设置有背部空腔，压电材料层上形成与背部空腔形状相同、尺寸大小相同、位置相对应的振膜区域，振膜区域内的压电材料层包括安装于外侧的振膜外侧电极，振膜外侧电极内部安装有振膜内侧电极，振膜外侧电极与振膜内侧电极之间设置有隔离沟槽。本发明通过隔离沟槽将振膜区域的电极分为内侧和外侧，实现了单个换能器的高性能自发自收工作。 |
