一种压电微机械执行器
基本信息
| 申请号 | CN202110423690.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113135548A | 公开（公告）日 | 2021-07-20 |
| 申请公布号 | CN113135548A | 申请公布日 | 2021-07-20 |
| 分类号 | B81B3/00;H01L41/09 | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 秦风;李慧 | 申请（专利权）人 | 广州蜂鸟传感科技有限公司 |
| 代理机构 | 成都聚蓉众享知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘艳均 |
| 地址 | 510700 广东省广州市黄埔区科丰路31号G2栋309/311房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种压电微机械执行器，属于压电微机械技术领域，解决了现有技术中的压电微机械执行器在工作中输出位移性能受限的问题，本发明包括基座，所述基座内部连接有对称的两个驱动台，所述两个驱动台分别连接有两弹簧梁，两弹簧梁连接有同一位移台，所述位移台的底面上连接有质量块，位移台与基座相对的两侧上开设有多个通气槽，所述通气槽相对的基座上连接有与通气槽数量匹配的调节柱。本发明设计了质量块/位移台、弹簧梁、驱动台为核心的三级位移放大机构，提高了压电微机械执行器的输出性能。 |
