光刻胶成膜树脂制备中的聚合物选择水解方法

基本信息

申请号 CN200510040392.5 申请日 -
公开(公告)号 CN1300187C 公开(公告)日 2007-02-14
申请公布号 CN1300187C 申请公布日 2007-02-14
分类号 C08F8/12(2006.01);G03F7/00(2006.01) 分类 有机高分子化合物;其制备或化学加工;以其为基料的组合物;
发明人 冉瑞成;沈吉;褚晟 申请(专利权)人 中恺投资有限公司
代理机构 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人 苏州华飞微电子材料有限公司;中恺投资有限公司
地址 215011江苏省苏州市苏州新区灵岩街16号
法律状态 -

摘要

摘要 一种光刻胶成膜树脂制备中的聚合物选择水解方法,采用聚对乙酰氧基苯乙烯及其共聚物为原料,以醇、醚、烃类溶剂为介质,在20~150℃温度范围内,在催化剂帮助下进行选择水解反应,来制备聚对羟基苯乙烯及其共聚物,其特征在于:催化剂为高分子催化剂或高分子载体催化剂;所述高分子催化剂为聚苯乙烯磺酸型强酸性离子交换树脂或季胺碱型强碱性离子交换树脂;所述高分子载体催化剂为高分子载体路易斯酸(Lewis酸)催化剂。本发明采用合适有效的催化剂通过选择性水解或醇解反应,来制备光刻胶成膜树脂——聚对羟基苯乙烯及其共聚物,其特点是工艺简单、转化率可达98%以上、选择性,从而达到更好的效果。