一种延长去PSG药液寿命的装置专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种延长去PSG药液寿命的装置

基本信息

申请号	CN202020948729.2	申请日	-
公开（公告）号	CN211929448U	公开（公告）日	2020-11-13
申请公布号	CN211929448U	申请公布日	2020-11-13
分类号	H01L21/67(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	殷召柱;任军利;马章彦	申请（专利权）人	徐州谷阳新能源科技有限公司
代理机构	江苏圣典律师事务所	代理人	徐州谷阳新能源科技有限公司
地址	221300江苏省徐州市邳州市高新技术产业开发区滨湖大道南、香山路西
法律状态	-

摘要

本实用新型公布一种延长去PSG药液寿命的装置，包括主槽、副槽、电导率测试仪、PLC模块、至少两个电磁阀、至少两个气动阀；其中，主槽的管道中安装有电导率测试仪，主槽与副槽相连，副槽上通过第一气动阀连通到两恒压罐，第一恒压罐的进水口通过第一气动阀连接到纯水管路上；第二恒压罐的进水口通过第二地动阀连接到PSG药液管路上；第一气动阀的气管连接到第一电磁阀上，第一电磁阀的信号线电连接至PLC模块上；第二气动阀的气管连接到第二电磁阀上，第二电磁阀的信号线电连接PLC模块；所述电导率测试仪的信号线电连接PLC模块。本实用新型理论上可以将去PSG链试机的药液寿命延长，同时能杜绝在正常生产中突然出现批量性过刻或漏刻的现象发生。