一种MWT太阳能电池改善稳态的PSG调整和测试方法
基本信息
| 申请号 | CN202010024420.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111245366B | 公开（公告）日 | 2021-05-18 |
| 申请公布号 | CN111245366B | 申请公布日 | 2021-05-18 |
| 分类号 | H01L31/18 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 段帅华;邢飞;史修江;夏中雪 | 申请（专利权）人 | 徐州谷阳新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京乐羽知行专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李培 |
| 地址 | 221300 江苏省徐州市邳州市高新科技产业开发区滨湖大道南、香山路西 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种MWT太阳能电池改善稳态的PSG调整和测试方法，包括测试方法和调整方法两个方面，第一步，取刻蚀即背面碱抛后的硅片，顺着打孔的位置将孔1/2位置平均分成2块；第二步，将孔位置放在3D显微镜下，用5倍物镜，灯光亮度26%‑30%找到打孔侧面位置；第三步，将打孔位置移至光标中心；第四步，调整物镜50倍，灯光亮度12%‑16%，测试模式Zeta3D模式测试孔内3D图片；第五步，选择直线，拉取孔内过刻长度及硅片厚度；第六步，计算孔内过刻比，孔内过刻比=过刻长度/硅片厚度，控制孔内过刻比为硅片横截面积的0‑50%。 |
