一种ALD背钝化工艺中防止铝舟划伤的打磨工装
基本信息
| 申请号 | 2020206325807 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212399082U | 公开（公告）日 | 2021-01-26 |
| 申请公布号 | CN212399082U | 申请公布日 | 2021-01-26 |
| 分类号 | B24B15/08(2006.01)I; | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 刘刚;李耕航 | 申请（专利权）人 | 徐州谷阳新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | 南京乐羽知行专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 李玉平 |
| 地址 | 221300江苏省徐州市邳州市高新技术产业开发区滨湖大道南香山路西 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种ALD背钝化工艺中防止铝舟划伤的打磨工装，包括载舟平台桌，气缸机构，顶齿机构，以及多片硅片；载舟平台桌上设有用于固定铝舟位置的限位件；载舟平台桌下部的两个侧面分别设有一个用于支撑气缸机构的支撑件；气缸机构设在载舟平台桌的桌面下方，气缸和导杆的下端均固定在机构底座上，机构底座两端分别设在两个支撑件上，气缸和导杆的上端均与顶齿机构的下部连接，气缸工作状态下，上下往复式推动顶齿机构沿着导杆上下移动；顶齿机构的上部为梳齿状顶齿，顶齿的每个齿槽用于插接一片硅片；铝舟下方的桌面上设有与铝舟对应尺寸的桌孔，桌孔用于穿过顶齿。 |
