一种银的细微图形化蚀刻方法
基本信息
| 申请号 | CN202010242731.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113463099A | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN113463099A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | C23F1/30（2006.01）I;C23F1/02（2006.01）I;C23C14/35（2006.01）I;C23C14/18（2006.01）I;C23C14/08（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 卢虎贲;李珍;范海文;李弋舟 | 申请（专利权）人 | 长沙韶光铬版有限公司 |
| 代理机构 | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人 | 马强 |
| 地址 | 410129湖南省长沙市芙蓉区长榔路88号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种银的细微图形化蚀刻方法，包括抛光、清洁、镀氧化膜/银、旋涂光刻胶、分别用第1道的银蚀刻液和第2道银蚀刻液进行蚀刻、经去胶液清洗得到Ag金属网格。本发明工艺简单，可以得到线径小于5um的银图案，对银的蚀刻均匀，图形化线性度高，所得银金属网格附着好，网格不易发生漂移。 |
