一种漫反射型标定板及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202010347388.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113560960A | 公开（公告）日 | 2021-10-29 |
| 申请公布号 | CN113560960A | 申请公布日 | 2021-10-29 |
| 分类号 | B24B1/00（2006.01）I;G03F7/00（2006.01）I | 分类 | 磨削；抛光; |
| 发明人 | 邓辉;陈保国;范海文 | 申请（专利权）人 | 长沙韶光铬版有限公司 |
| 代理机构 | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人 | 马强;聂午阳 |
| 地址 | 410129湖南省长沙市芙蓉区长榔路88号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种漫反射型标定板的制备方法，包括以下步骤：使用20%‑60%DN95粒径10微米以下的金刚砂溶液，对抛光片/原版玻璃的上表面和/或下表面研磨10‑40min，得到第一研磨面，抛光片/原版玻璃的上表面为第一研磨面或平面；在抛光片/原版玻璃的上表面采用半导体掩模版图形制作工艺流程加工制作图形，依次进行镀膜、涂胶、光刻、显影和腐蚀，制得金属铬层；进行精密切割，尺寸精度为±0.05mm，本发明还公开了利用该方法制得的标定板，本发明采用研磨工艺制作磨砂效果，满足高平面度要求，砂粒精细并可控，反射率小于0.1%。 |
