一种铬版湿法清洗工艺干燥用异丙醇蒸汽回流装置
基本信息
| 申请号 | CN202110707598.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113418383B | 公开（公告）日 | 2022-05-17 |
| 申请公布号 | CN113418383B | 申请公布日 | 2022-05-17 |
| 分类号 | F26B21/14（2006.01）I;F26B9/06（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 干燥; |
| 发明人 | 李珍;陈曦;李弋舟 | 申请（专利权）人 | 长沙韶光铬版有限公司 |
| 代理机构 | 厦门原创专利事务所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 410129 湖南省长沙市芙蓉区韶光社区长榔路88号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种铬版湿法清洗工艺干燥用异丙醇蒸汽回流装置，包括蒸汽干燥槽体与加热板，所述加热板安装于蒸汽干燥槽体的底部，所述蒸汽干燥槽体的顶部开设有矩形开口，矩形开口长边所对应的两侧壁内设有进气腔，进气腔的下端设有通孔与蒸汽干燥槽体内腔相通，进气腔靠近蒸汽干燥槽体内腔的侧壁上端安装有第一中空冷凝板，所述第一中空冷凝板的上下两端分别设有第一排水管与第一进水管，所述第一进水管与第一排水管均贯穿蒸汽干燥槽体侧壁，所述第一排水管的侧壁上设有负压支管；本发明提供的铬版湿法清洗工艺干燥用异丙醇蒸汽回流装置能够实现半导体基片干燥过程中IPA蒸汽的循环利用，减少IPA的损耗，具有客观的经济效益，适宜进一步推广应用。 |
