一种透明导电薄膜结构及其制作方法
基本信息
| 申请号 | CN202010243190.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113470890A | 公开（公告）日 | 2021-10-01 |
| 申请公布号 | CN113470890A | 申请公布日 | 2021-10-01 |
| 分类号 | H01B13/00（2006.01）I;H01B5/14（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 卢虎贲;李珍;范海文;李弋舟 | 申请（专利权）人 | 长沙韶光铬版有限公司 |
| 代理机构 | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人 | 卢宏;胡凌云 |
| 地址 | 410129湖南省长沙市芙蓉区长榔路88号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种透明导电薄膜结构及其制作方法，所述透明导电薄膜结构具有基板和金属网格；包括如下步骤：提供由玻璃或石英制成的基板；在所述基板的至少1个表面镀金属氧化物层；在所述金属氧化物层的表面制作光刻胶层，然后对光刻胶层进行刻蚀处理，使得光刻胶层内形成与所述金属网格匹配的凹槽；以所述金属氧化物层为阴极，镀层金属为阳极，电镀，在金属氧化物层的表面形成金属网格；然后，去除剩余的光刻胶层，获得透明导电薄膜结构成品。本发明的工艺简单，无需金属纳米粒子等电镀阴极材料，适合工业化生产，可以基于金属氧化物和金属网格得到更加优化的透明导电薄膜结构。 |
