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一种氮化镓基激光器管芯的制备方法

基本信息

申请号	CN201210012559.7	申请日	-
公开（公告）号	CN102545051A	公开（公告）日	2012-07-04
申请公布号	CN102545051A	申请公布日	2012-07-04
分类号	H01S5/22(2006.01)I;H01S5/042(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	张书明;王辉;刘建平;王怀兵;杨辉	申请（专利权）人	苏州纳睿光电有限公司
代理机构	苏州创元专利商标事务所有限公司	代理人	陶海锋;陆金星
地址	215123 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种氮化镓基激光器管芯的制备方法，包括如下步骤：1）在衬底上外延生长N型GaN电极接触层、N型光限制层、N型波导层、发光有源区、P型波导层、P型光限制层和P型电极接触层；得到氮化镓基激光器外延结构；2）将氮化镓基激光器外延结构刻蚀至P型光限制层，并刻去部分P型波导层，形成激光器的脊型结构；3）在上述激光器的脊型结构的表面蒸镀P型欧姆接触电极；4）在P型欧姆接触电极的表面形成p型层加厚电极；5）将衬底减薄；6）蒸镀N型欧姆接触电极金属；7）分割形成单个激光器的管芯。本发明的制备方法可以简化激光器的制作工艺，使激光器的脊型的侧壁形成金属接触，增大金属接触面积，减小接触电阻，降低工作电压，增加散热效果。