3D复合板材喷涂镀膜膜系结构

基本信息

申请号 CN202120477362.5 申请日 -
公开(公告)号 CN215198005U 公开(公告)日 2021-12-17
申请公布号 CN215198005U 申请公布日 2021-12-17
分类号 B05D1/36(2006.01)I;B05D7/24(2006.01)I 分类 一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕;
发明人 葛秀彬;朱泽松;金烈 申请(专利权)人 深圳市锦瑞新材料股份有限公司
代理机构 深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司 代理人 罗炳锋
地址 518000广东省深圳市光明新区公明下村社区第三工业区12号厂房
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种3D复合板材喷涂镀膜膜系结构,包括第一靶材层组以及第二靶材层,所述第一靶材层组具有多层第一靶材层;所述第一靶材层被配置为Nb靶材层;所述第二靶材层被配置为Sn靶材层或In靶材层。本实用新型的膜系结构去除了原有的靶材Ti,避免了靶材Ti与氧气反应产生不耐高温的TiO2,这样就可以避免不耐高温的TiO2熔化而导致高压异色不良的发生,从而提高产品质量,提高良品率。