一种用于Micro-LED芯片制备的曝光装置
基本信息
| 申请号 | CN202122690820.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216622961U | 公开（公告）日 | 2022-05-27 |
| 申请公布号 | CN216622961U | 申请公布日 | 2022-05-27 |
| 分类号 | G03F7/20（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 唐素敏;王勇文 | 申请（专利权）人 | 星源电子科技（深圳）有限公司 |
| 代理机构 | 合肥信诚兆佳知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 518132广东省深圳市光明区玉塘街道田寮社区禾屋山第四工业区第八栋办公楼101/201 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于Micro‑LED芯片制备的曝光装置，涉及生产辅助技术领域，针对现有的曝光不好的问题，现提出如下方案，其包括放置箱，所述放置箱内固定连接有处理箱；气泵，其固定连接在所述处理箱的一侧，其输出端延伸到处理箱内，所述处理箱的一侧固定连接有出气管，所述气泵的输入端连接有与放置箱相连接的进气管；功能腔，其设置于放置箱内，其底部固定连接有的反光板；灯源，其固定连接在所述反光板上，本实用新型结构简单，使用方便，可以在较为稳定的环境下进行曝光，保证曝光的稳定，同时经过多个零件的使用，方便曝光的过程，方便的过程，降低工作强度，减小长时间多个曝光的微小误差。 |
