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红外热电堆传感器的量产测试装置

基本信息

申请号 CN202111175721.2 申请日 -
公开（公告）号 CN113834573A 公开（公告）日 2021-12-24
申请公布号 CN113834573A 申请公布日 2021-12-24
分类号 G01J5/52（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 林武;柯亮;李妍君;储莉玲 申请（专利权）人 美新半导体（天津）有限公司
代理机构 苏州简理知识产权代理有限公司 代理人 庞聪雅
地址 300450天津市自贸试验区（空港经济区）西三道158号金融中心4-501室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种红外热电堆传感器的量产测试装置，其包括：测试板；若干测试载具，其设置于测试板上，测试载具用于可拆卸地插接红外热电堆传感器；传送装置，其用于承载测试板；黑体，其设置于传送装置上方，黑体内设置有辐射源，辐射源用于产生设定温度；当传送装置带动测试板依次使各列测试载具对准辐射源；电压测量电路，其与若干测试载具电性连接，其用于测量与辐射源对准的一列测试载具中的各个红外热电堆传感器的输出电压；上位机，其基于电压测量电路测量到的红外热电堆传感器的输出电压，计算出该红外热电堆传感器的灵敏度指标。与现有技术相比，本发明可以在FT测试阶段对红外热电堆传感器进行批量且高可靠性的灵敏度测试。