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MEMS谐振器的检测电路

基本信息

申请号	CN202121679883.5	申请日	-
公开（公告）号	CN215728495U	公开（公告）日	2022-02-01
申请公布号	CN215728495U	申请公布日	2022-02-01
分类号	G01R31/00（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	刘尧;凌方舟;蒋乐跃;丁希聪;林武	申请（专利权）人	美新半导体（天津）有限公司
代理机构	苏州简理知识产权代理有限公司	代理人	庞聪雅
地址	300450天津市自贸试验区（空港经济区）西三道158号金融中心4-501室
法律状态	-

摘要

本实用新型提供一种MEMS谐振器的检测电路。所述检测电路包括：MEMS谐振器；电荷放大器，其输出端输出谐振感应信号；整流器，用于将所述谐振感应信号中的负值部分翻转或斩断得到整流后的谐振感应信号；积分器，其被配置的以设定积分时间为周期对整流后的谐振感应信号进行积分；采样电路，采样所述积分器的输出得到积分采样值；比较器，其得到数字方波信号；计数器，其以数字方波信号的预定跳变沿为触发信号进行计数，单位时间的计数值记为N1；处理单元，其根据计数值N1和单位时间计算获得自然谐振频率F0，根据自然谐振频率F0、积分采样值计算获得品质因子Q。这样，可以快速的、准确的对MEMS谐振器的谐振频率和品质因子进行测量。