一种双轴微机械系统换能器结构
基本信息
| 申请号 | CN202121926132.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215711763U | 公开（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申请公布号 | CN215711763U | 申请公布日 | 2022-02-01 |
| 分类号 | B81B3/00（2006.01）I;B81B7/02（2006.01）I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 苏云鹏;凌方舟;蒋乐跃;丁希聪 | 申请（专利权）人 | 美新半导体（天津）有限公司 |
| 代理机构 | 苏州简理知识产权代理有限公司 | 代理人 | 庞聪雅 |
| 地址 | 300450天津市自贸试验区（空港经济区）西三道158号金融中心4-501室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实新型提供一种双轴微机械系统换能器结构，其包括：固定基板；可移动基板，其悬置于固定基板上方；多个第一锚定结构，其设置于可移动基板的外侧；多组折叠梁，其设置于可移动基板的外侧，且每组折叠梁均包括相互垂直正交的第一折叠梁和第二折叠梁，第一折叠梁和第二折叠梁均连接可移动基板和对应的第一锚定结构；多个第二锚定结构，其设置于可移动基板的外侧；多个梳齿电容元件，其设置于可移动基板和第二锚定结构之间，梳齿电容元件包括成叉指状排布的可动梳齿和固定梳齿，其可动梳齿与可移动基板连接，其固定梳齿与对应的第二锚定结构连接。与现有技术相比，本实新型具有集成度高、正交误差小的优点。 |
