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MEMS陀螺仪

基本信息

申请号 CN202111088562.2 申请日 -
公开（公告）号 CN113804171A 公开（公告）日 2021-12-17
申请公布号 CN113804171A 申请公布日 2021-12-17
分类号 G01C19/5755（2012.01）I 分类 测量；测试;
发明人 凌方舟;丁希聪;刘尧;蒋乐跃 申请（专利权）人 美新半导体（天津）有限公司
代理机构 苏州简理知识产权代理有限公司 代理人 庞聪雅
地址 300450天津市自贸试验区（空港经济区）西三道158号金融中心4-501室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种MEMS陀螺仪，其包括：驱动质量块；驱动电极；检测质量块；位于所述检测质量块下方的检测电极；耦接于所述驱动质量块上的第一补偿梁；耦接于所述第一补偿梁和所述检测质量块之间的第二补偿梁；耦接于所述第一补偿梁上的至少一对补偿质量块，其中每对补偿质量块中的第一补偿质量块位于所述第一补偿梁的一侧，每对补偿质量块中的第二补偿质量块位于所述第一补偿梁的另一侧；位于所述至少一对补偿质量块下方的至少一对补偿电极，通过在所述至少一对补偿电极上施加电信号，以进行误差补偿。