首页/ 美新半导体（天津）有限公司/ 专利详情

多轴集成的微机电系统惯性器件测试装置、系统及方法

基本信息

申请号 CN202111546828.3 申请日 -
公开（公告）号 CN114152271A 公开（公告）日 2022-03-08
申请公布号 CN114152271A 申请公布日 2022-03-08
分类号 G01C25/00（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 林武;柯亮;李妍君;储莉玲 申请（专利权）人 美新半导体（天津）有限公司
代理机构 苏州简理知识产权代理有限公司 代理人 庞聪雅
地址 300450天津市自贸试验区（空港经济区）西三道158号金融中心4-501室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种多轴集成的微机电系统惯性器件测试装置、系统及方法，其中，多轴集成的微机电系统惯性器件测试装置包括：磁场产生器，其受控在预定空间产生磁场H；两轴转台，其放置于所述预定空间内，所述两轴转台包括转盘、第一转轴和第二转轴，其中，所述转盘固定于所述第一转轴的一端，所述第二转轴与所述第一转轴正交，所述第一转轴受控转动时带动所述转盘同步转动；所述第二转轴受控转动时带动所述第一转轴和所述转盘以所述第二转轴为中心轴同步周向运动。与现有技术相比，本发明可以实现多轴（例如九轴）集成MEMS惯性器件的高效可靠量产测试。